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光刻設備國內唯一，北方華創(chuàng )要并購的這家公司不簡(jiǎn)單

2025/3/11 19:12:49      挖貝網(wǎng) 周路遙

一場(chǎng)并購，拉開(kāi)了北方華創(chuàng )（002371.SZ）進(jìn)軍光刻設備市場(chǎng)的號角。

2025年3月10日晚間，北方華創(chuàng )發(fā)布公告稱(chēng)，擬受讓沈陽(yáng)先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“先進(jìn)制造”）持有的芯源微（688037.SH）9.49%的股份，交易金額為16.87億元。

同時(shí)，北方華創(chuàng )還表示，沈陽(yáng)中科天盛自動(dòng)化技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中科天盛”） 擬轉讓所持芯源微8.41%的股份，公司將積極通過(guò)參與公開(kāi)掛牌競買(mǎi)等方式繼續增持芯源微股份并取得對其控制權。

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據了解，截至2024年9月30日，芯源微第一大股東遼寧科發(fā)實(shí)業(yè)有限公司持有芯源微10.61%的股權。如果北方華創(chuàng )能夠順利完成上述兩大交易，北方華創(chuàng )將持有芯源微17.9%的股份，成為其第一大股東。

北方華創(chuàng )強調，此次交易的目的是為了加快推動(dòng)公司戰略落實(shí)，發(fā)揮協(xié)同效應。

國內唯一的光刻設備龍頭

眾所周知，光刻設備、刻蝕設備和薄膜設備，是半導體領(lǐng)域的三大主要設備。目前，在刻蝕設備和薄膜設備領(lǐng)域，北方華創(chuàng )在國內市場(chǎng)，已經(jīng)是行業(yè)龍頭企業(yè)了。但在光刻設備領(lǐng)域，北方華創(chuàng )的布局較為薄弱。如果我們以“光刻”二字為關(guān)鍵字在北方華創(chuàng )2024年半年報中進(jìn)行搜索的話(huà)，找不到任何內容。

但如果北方華創(chuàng )能夠控股芯源微，情況就不一樣了！

芯源微公告顯示，公司是目前國內唯一可以提供量產(chǎn)型前道涂膠顯影機的廠(chǎng)商，經(jīng)過(guò)長(cháng)期的技術(shù)積累和在客戶(hù)端的驗證及量產(chǎn)應用，目前已完成在前道晶圓加工環(huán)節 28nm 及以上工藝節點(diǎn)的全覆蓋，14納米及以下先進(jìn)制程工藝也在有序驗證中。

此外，為應對高端光刻機日益提升的產(chǎn)能需求，芯源微最新一代超高產(chǎn)能前道涂膠顯影機FTEX的研發(fā)工作也在高效推進(jìn)中，公司將快速推進(jìn)其驗證和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

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那么什么是涂膠顯影設備？它有什么用處呢？據了解，涂膠顯影設備是半導體產(chǎn)線(xiàn)上唯一與光刻機聯(lián)機作業(yè)的核心設備，它與光刻機高度綁定。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，涂膠就是把光刻膠涂抹到半導體晶圓上。而后，光刻機對光刻膠進(jìn)行曝光，在曝光后由顯影設備進(jìn)行光刻圖案的顯影?？梢哉f(shuō)，涂膠顯影設備的好壞，直接關(guān)系到光刻的良率！

綜上所述，如果北方華創(chuàng )能夠成功入主芯源微，那么北方華創(chuàng )在光刻設備、刻蝕設備和薄膜設備三大設備領(lǐng)域，都將是國內的龍頭企業(yè)。

當然，除了涂膠顯影設備，芯源微在其他半導體設備領(lǐng)域，也有可圈可點(diǎn)之處。

芯源微曾發(fā)布公告稱(chēng)，2024年上半年，公司臨時(shí)鍵合機、解鍵合機商業(yè)化推廣和驗證進(jìn)展順利，目前在手量產(chǎn)或驗證性訂單已十余臺，已全面覆蓋國內主要2.5D、3D封測及HBM客戶(hù)。目前該產(chǎn)品已完成部分客戶(hù)驗證并獲得重復性訂單，在驗機臺工藝指標表現優(yōu)秀。

此外，2024年8月底，芯源微戰略新產(chǎn)品-前道單片式高溫硫酸清洗機在上海臨港廠(chǎng)區啟運發(fā)往國內重要邏輯客戶(hù)開(kāi)展工藝驗證。據悉，高溫硫酸清洗工藝被業(yè)界公認為28nm/14nm制程性能要求最高的工藝之一，也是業(yè)內最具難度和挑戰的濕法工藝，芯源微研發(fā)的該款設備有望打破國外龍頭對高溫硫酸清洗技術(shù)的絕對壟斷，機臺性能及工藝技術(shù)致力于達到國際先進(jìn)水平。